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污污内射久久一区二区欧美日韩產品與應用/晶圓電鍍
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鍍銅柱 Pillar

晶圓鍍銅柱Pillar:專為鍍銅柱工藝設計,工藝流程簡單,產品性能穩定。
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產品描述

晶圓鍍(du)銅柱(zhu)Pillar:專(zhuan)為鍍(du)銅柱(zhu)工藝(yi)設計,工藝(yi)流程簡單(dan),產(chan)品性能穩(wen)定。


鍍銅柱 Pillar-1.jpg


操作條件

參 數 

范 圍 

最 佳 值

銅濃度

45   – 55 g/L 

50 g/L

酸濃度

90 - 110 g/L 

100 g/L

溫度 

25 – 50 ℃

40 ℃

REM-9001 潤濕(shi)劑

5 – 20 ml 

10 ml

REM-9002 光亮劑

1 – 5 ml 

3 ml

REM-9003 整平劑

5 – 20 ml 

10 ml

溶(rong)液攪(jiao)動 

強力攪動

電流密度

 5 - 20 ASD 

15 ASD